《科創(chuàng)板日報》6月28日訊（特約記者 陳蔣逸）半導體設備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，也是半導體產業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)市場空間最廣闊，戰(zhàn)略價值最重要的一環(huán)。

據(jù)集微咨詢預測，中國大陸2022-2026年將新增25座12英寸晶圓廠，總規(guī)劃月產能將超過160萬片，半導體設備需求將維持高位。然而，研報顯示，我國半導體設備的整體國產化率僅12%。所需投資成本最大的半導體前道設備中，關鍵九類設備的國產化率皆小于10%，而高端工藝中的國產化率則幾乎為零。光刻、刻蝕、薄膜沉積等關鍵設備已成為國家重點扶持方向。

此外，美日荷限制關于先進半導體設備的出口。美國不斷呼吁加強盟國間的協(xié)作，欲說服更多國家在半導體相關物項的對華銷售施加嚴格的出口管制，促使供應鏈轉移并采取芯片斷供等手段限制中國。

國內半導體企業(yè)迎來轉型機遇，自研半導體設備不斷替代老舊設備是行業(yè)的發(fā)展趨勢。

值得注意的是，對于產業(yè)鏈條長、復雜性高的半導體產業(yè)，產業(yè)鏈上下游的高度協(xié)同，是設備等產業(yè)鏈重要節(jié)點持續(xù)發(fā)展的必經之路。設備企業(yè)需進一步強化集成能力，與晶圓制造企業(yè)、封裝測試企業(yè)進行網絡化協(xié)同創(chuàng)新，新一代半導體設備的推出尤其需要產業(yè)鏈上中下游企業(yè)緊密合作。

例如，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）就于 2022 年推出了供應商協(xié)作計劃，與其供應商之間建立了深度的合作關系，包括共享技術路線圖、共同研發(fā)、早期供應商參與等機制，有助于提前識別和解決供應鏈中的潛在問題。

同一年，長于刻蝕、涂膠/顯影等多項半導體設備生產的東京電子（TEL）在地緣政治緊張局勢加劇的情況下，不僅積極開發(fā)自主技術，也通過多元化供應商和增加庫存等措施，有效地降低了供應鏈風險。

美國半導體設備巨頭科磊（KLA）則積極地投資自動化和數(shù)字化，以提高供應鏈的效率和透明度。還采用分散式的供應鏈模式，在多個國家設有生產基地，以降低對單一地區(qū)的依賴。

由此可見，為提高供應鏈韌性與靈活性，加快數(shù)字化、強化協(xié)同性、穩(wěn)健的產品和庫存戰(zhàn)略，以及可持續(xù)性，是企業(yè)在進行半導體供應鏈布局和調整時需要重點關注的方面。

中國半導體設備企業(yè)的探索實踐

為進一步了解國內半導體設備企業(yè)的供應鏈安全與韌性管理情況，《科創(chuàng)板日報》研究員從科創(chuàng)板相關上市公司中，選取中微公司與盛美上海進行案例研究，從公司官網、公開發(fā)布的ESG報告等，看看其實際的操作狀況。

中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）成立于2004年，主要從事半導體設備的研發(fā)、生產和銷售，向下游集成電路、LED外延片、先進封裝、MEMS等半導體產品的制造公司銷售刻蝕設備和MOCVD設備，提供配件及服務。

在企業(yè)的供應鏈安全與韌性方面，中微公司從加快數(shù)字化與強化協(xié)同性方向做出了一些積極嘗試。2023 年，中微公司運用中微匯鏈自主研發(fā)的We-linkin系統(tǒng)，與12家關鍵供應商實現(xiàn)了某些關鍵過程及關鍵數(shù)據(jù)的線上SPC監(jiān)控。

公司也通過自主創(chuàng)建的供應商評分小程序（Scorecard App），從供應商的質量、商務、交貨三個方面，每季度對供應商進行百分制的打分評估，綜合評估供應商的供貨表現(xiàn)。并選定一定數(shù)量的關鍵供應商進行年度審核，通過制定《供應商年度審核表》（Supplier Re-evaluation Checklist），從主要關鍵零件的生產流程、質量問題的處理、質量業(yè)績、信息安全等四個方面，對供應商進行年度綜合評價。2023 年共對 15 家關鍵供應商進行了年度審核。

盛美上海同樣通過加快數(shù)字化來加強供應鏈安全與韌性管理。盛美上海，全稱盛美半導體設備（上海）股份有限公司，成立于2005年，主要從事半導體清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、涂膠顯影Track設備等的開發(fā)、制造和銷售。

公司同專業(yè)機構合作，搭建了盛美上海供應商關系管理（Supplier Relationship Management,SEM）系統(tǒng)，并制作了《SRM 系統(tǒng)培訓文檔（供應商端）》，用以識別和評估公司整條供應鏈中日常和異常的風險和漏洞。

總體而言，國內半導體設備廠商在精進技術和產品能力的同時，對加強供應鏈安全與韌性管理也做出了初步的探索和努力。中國大陸作為全球最大半導體消費市場，目前國產化進入加速階段，國內的半導體設備更是在全球市場中展現(xiàn)出了極大的發(fā)展?jié)摿Α閼獙θ蚧魬?zhàn)，未來國內半導體廠商將面臨更高的供應鏈安全與韌性要求，應引起更大的重視。

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