2024年07月25日 13:47:53SK海力士將更環(huán)保氣體運(yùn)用于芯片清潔工藝
《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》25日訊，SK海力士已將其在芯片生產(chǎn)的一些清潔工藝步驟中使用的氣體替換為更環(huán)保的氣體。該公司進(jìn)行了用全球變暖潛值 (GWP) 較低的氣體替代三氟化氮 (NF3) 的測(cè)試。目前，該廠商已用GWP為0的F2氣體取代了一些工藝步驟。 (the elec)
我要評(píng)論
反饋意見 
歡迎您發(fā)表有價(jià)值的評(píng)論，發(fā)布廣告和不和諧的評(píng)論都將會(huì)被刪除，您的賬號(hào)將禁止評(píng)論。
發(fā)表評(píng)論
關(guān)聯(lián)話題
8.49W 人關(guān)注
+ 關(guān)注
1.83W 人關(guān)注
+ 關(guān)注
1.82W 人關(guān)注
+ 關(guān)注
9468 人關(guān)注
+ 關(guān)注
