《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》9日訊，業(yè)界傳出，臺(tái)積電首臺(tái)ASML High NA EUV光刻系統(tǒng)設(shè)備傳本月將進(jìn)機(jī)，由于該款逾4億歐元設(shè)備且因光鏡頭鏡片無(wú)法分拆入廠，高度比一間會(huì)議室還高且長(zhǎng)度也遠(yuǎn)超前一代設(shè)備，因規(guī)格特殊且精密，恐須機(jī)場(chǎng)或港口聯(lián)通的高速公路交管或特定深夜運(yùn)送入廠避免交通不順。對(duì)于業(yè)界傳聞，ASML今日提到不評(píng)論單一客戶。臺(tái)積電則表示不回應(yīng)市場(chǎng)傳聞。 (臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào))